A method for forming a microelectromechanical (MEMS) resonator is disclosed. The method comprises first manufacturing a plurality of resonator structures. Each of the resonator structures differ from the others in a systematic manner, such as the length of the resonator structure. The resonance frequency of each of the resonator structures is determined. Then, a desired resonator structure is selected based upon the resonance frequency of the desired resonator structure.

Een methode om een microelectromechanical resonator (van MEMS) wordt te vormen onthuld. De methode bestaat uit de productie van eerst een meerderheid van resonatorstructuren. Elk van de resonatorstructuren verschilt van anderen op een systematische manier, zoals de lengte van de resonatorstructuur. De resonantiefrequentie van elk van de resonatorstructuren wordt bepaald. Dan, wordt een gewenste resonatorstructuur geselecteerd gebaseerd op de resonantiefrequentie van de gewenste resonatorstructuur.