An apparatus and method for evaluating the performance of a test dielectric
material for use as a gate dielectric. The method comprises exposing a
coated layer of the dielectric to a concentration of atomic hydrogen. The
method may comprise (a) measuring an initial value of interface-state
density in the test dielectric, (b) exposing the coated test dielectric to
a concentration of atomic hydrogen in a remote plasma, and then (c)
measuring a post-exposure value of interface-state density in the test
dielectric. Steps (b) and (c) may be repeated with incrementally higher
concentrations of atomic hydrogen to determine a rate of change in
interface-state density value as a function of atomic hydrogen
concentration, which may then be related to the projected
charge-to-breakdown or time-to-breakdown of the test dielectric layer when
the dielectric is used as the gate dielectric. The method may be conducted
on a remote-plasma hydrogen exposure apparatus comprising, in series, a
source of a mixture of molecular and atomic hydrogen gas; a particle
remover adapted to remove energetic, charged particles; a light sink; a
hydrogen recombination device; and a wafer exposure chamber.
Прибор и метод для оценивать характеристику рабочое материала испытания диэлектрического для пользы как диэлектрик строба. Метод состоит из подвергать действию coated слой диэлектрика к концентрации атомного водопода. Метод может состоять из (a) измеряющ первоначально значение плотности поверхност стыка-polojeni4 в диэлектрике испытания, (b) подвергающ действию coated диэлектрик испытания к концентрации атомного водопода в дистанционной плазме, и после этого (c) измеряющ послеэкспозиционое значение плотности поверхност стыка-polojeni4 в диэлектрике испытания. Шаги (b) и (c) могут быть повторены, что с дифференциально более высокой концентрацией атомного водопода обусловили темпо изменения в значении плотности поверхност стыка-polojeni4 как функция концентрации атомного водопода, которая может после этого быть отнесена к запроектированным поручать-к-nervnomu расстройству или врем-к-nervnomu расстройству слоя испытания диэлектрического когда диэлектрик использован как диэлектрик строба. Метод может быть дирижирован на приборе выдержки водопода дистанционн-plazmy состоя из, в серии, источника смеси газа молекулярного и атомного водопода; перевозчик частицы приспособился для того чтобы извлечь напористые, порученные частицы; светлая раковина; приспособление рекомбинации водопода; и камера выдержки вафли.
