Acrylic esters containing fluorine at .alpha.-position and having an alkoxymethyl group introduced into the ester side chain thereof are novel. Polymers obtained from the acrylic esters are improved in transparency, acid elimination and substrate adhesion and are used to formulate chemically amplified resist compositions for lithographic microfabrication.

Les esters acryliques contenant le fluor à la alpha.-position et ayant un groupe d'alkoxymethyl présenté dans la chaîne latérale d'ester en sont roman. Des polymères obtenus à partir des esters acryliques sont améliorés dans le transparent, l'adhérence acide d'élimination et de substrat et sont employés pour formuler chimiquement amplifié résistent à des compositions pour le microfabrication lithographique.