The present invention provides systems, methods, and standards for calibrating nano-measuring devices. Calibration standards of the invention include carbon nanotubes and methods of the invention involve scanning carbon nanotubes using nano-scale measuring devices. The widths of the carbon nanotube calibration standards are known with a high degree of accuracy. The invention allows calibration of a wide variety of nano-scale measuring devices, taking into account many, and in some cases all, of the systematic errors that may affect a nano-scale measurement. The invention may be used to accurately calibrate line width, line height, and trench width measurements and may be used to precisely characterize both scanning probe microscope tips and electron microscope beams.

A invenção atual fornece sistemas, métodos, e padrões para dispositivos demedição calibrando. Os padrões da calibração da invenção incluem nanotubes do carbono e os métodos da invenção envolvem nanotubes que do carbono da exploração se usar nano-escala dispositivos de medição. As larguras dos padrões da calibração do nanotube do carbono são sabidas com um grau elevado de exatidão. A invenção permite a calibração de uma variedade larga de nano-escala dispositivos de medição, fazendo exame no cliente de muitos, e em alguns casos todos, dos erros sistemáticos que podem afetar nano-escale a medida. A invenção pode ser usada calibrar exatamente a linha largura, a linha altura, e as medidas da largura da trincheira e pode ser usada caracterizar precisamente pontas do microscópio da ponta de prova da exploração e feixes do microscópio de elétron.