An apparatus for supplying a mixture of a treatment liquid and ozone for treatment of a surface of a workpiece, and a corresponding method are set forth. The preferred embodiment of the apparatus comprises a liquid supply line that is used to provide fluid communication between a reservoir containing the treatment liquid and a treatment chamber housing the workpiece. A heater is disposed to heat the workpiece, either directly or indirectly. Preferably, the workpiece is heated by heating the treatment liquid that is supplied to the workpiece. One or more nozzles accept the treatment liquid from the liquid supply line and spray it onto the surface of the workpiece while an ozone generator provides ozone into an environment containing the workpiece.

Un aparato para proveer una mezcla de un líquido del tratamiento y el ozono para el tratamiento de una superficie de un objeto, y un método correspondiente se disponen. La encarnación preferida del aparato abarca una línea de fuente líquida que se utilice para proporcionar la comunicación flúida entre un depósito que contiene el líquido del tratamiento y un compartimiento del tratamiento que contiene el objeto. Un calentador se dispone para calentar el objeto, directamente o indirectamente. Preferiblemente, el objeto es calentado calentando el líquido del tratamiento que se provee al objeto. Unos o más inyectores aceptan el líquido del tratamiento de la línea de fuente líquida y lo rocían sobre la superficie del objeto mientras que un generador del ozono proporciona el ozono en un ambiente que contiene el objeto.