An analyzer suitable for performing continuous gas analysis in ultra-high purity applications. The analyzer combines a low-level emission source and a gaseous emission spectrometer having a charge coupled device (CCD) diode array as a detector. The CCD detector replaces one or more photomultipliers and narrow bandpass filters typically used in spectrometers. The analyzer performs various processing operations to evaluate and eliminate the effect of background light level, or dark spectrum.

Un analizzatore adatto ad effettuare analisi continua del gas nelle applicazioni ultraelevate di purezza. L'analizzatore unisce una fonte a basso livello dell'emissione e uno spettrometro gassoso dell'emissione che hanno un allineamento del diodo del dispositivo coppia carica (CCD) come rivelatore. Il rivelatore del CCD sostituisce uno o più fotomoltiplicatori e filtri passa-banda dello stretto utilizzati tipicamente in spettrometri. L'analizzatore effettua i vari funzionamenti di elaborazione per valutare ed eliminare l'effetto del livello della luce della priorità bassa, o lo spettro scuro.