High quality epitaxial layers of compound semiconductor materials can be grown overlying large silicon wafers by first growing an accommodating buffer layer on a silicon wafer. The accommodating buffer layer is a layer of monocrystalline oxide spaced apart from the silicon wafer by an amorphous interface layer of silicon oxide. The amorphous interface layer dissipates strain and permits the growth of a high quality monocrystalline oxide accommodating buffer layer. Any lattice mismatch between the accommodating buffer layer and the underlying silicon substrate is taken care of by the amorphous interface layer. These semiconductor materials have applications involving communications with high frequency signals including intelligent transportation systems such as automobile radar systems, smart cruise control systems, collision avoidance systems, and automotive navigation systems; and electronic payment systems that use microwave or RF signals such as electronic toll payment for various transportation systems including train fares, and toll roads, parking structures, and toll bridges for automobiles.

Слоями высокого качества эпитаксиальными материалов составного полупроводника могут быть, котор выросли overlying большие вафли кремния сперва расти accommodating слой буфера на вафле кремния. Accommodating слоем буфера будет слой monocrystalline окиси размеченный отдельно от вафли кремния аморфическим слоем поверхности стыка окиси кремния. Аморфический слой поверхности стыка рассеивает напряжение и позволяет рост слоя буфера monocrystalline окиси высокого качества accommodating. Любому рассогласованию решетки между accommodating слоем буфера и основным субстратом кремния позаботятся о аморфический слой поверхности стыка. Эти материалы полупроводника имеют применения включить сообщения с высокочастотными сигналами включая толковейшие системы перевозки such as системы радиолокатора автомобиля, франтовские системаа управления круиза, системы избегания столкновения, и автомобильные системы навигации; и электронные системы платежей используют микроволну или сигналы rf such as электронная компенсация пошлины для различных систем перевозки включая платы за проезд поезда, и дороги пошлины, паркуя структуры, и мосты пошлины для автомобилей.