An improved profileometry data collection and analysis system employing software that performs clustering analysis on library data stored in memory that represent semiconductor chip wafer profiles, for use in matching real-time data signals from data collected by profileometry instruments. To better perform a match in real-time between the incoming real-time data signals and the profile library data, cluster analysis is performed on the library data to partition the library data into clusters, and to extract representative cluster data points of the clusters. The representatives of the clusters are stored in primary memory (e.g., RAM), while the data forming the clusters are stored in secondary memory (e.g., a hard drive). A real-time data signal is then first compared to the representative cluster data points, and when a match is made with a particular representative cluster data point, the cluster associated with the representative cluster data point is loaded from secondary memory into primary memory. Next a further search is made with the incoming real-time data signal to find the closest match to the data in the cluster. In this way the entire library data does not have to be searched sequentially, and the entire library does not have to reside in primary memory in order to be quickly searched, which both conserves time and primary memory.

Ένα βελτιωμένο profileometry σύστημα συλλογής και ανάλυσης δεδομένων που χρησιμοποιεί το λογισμικό που εκτελεί τη συγκέντρωση της ανάλυσης στα στοιχεία βιβλιοθηκών που αποθηκεύονται στη μνήμη που αντιπροσωπεύουν τα σχεδιαγράμματα γκοφρετών τσιπ ημιαγωγών, για τη χρήση στο ταίριασμα των σε πραγματικό χρόνο σημάτων στοιχείων από τα στοιχεία που συλλέγονται από τα profileometry όργανα. Για να εκτελέσει καλύτερα μια αντιστοιχία στον πραγματικό χρόνο μεταξύ των εισερχόμενων σε πραγματικό χρόνο σημάτων στοιχείων και των στοιχείων βιβλιοθηκών σχεδιαγράμματος, η ανάλυση συστάδων εκτελείται στα στοιχεία βιβλιοθηκών για να χωρίσει τα στοιχεία βιβλιοθηκών στις συστάδες, και για να εξαγάγει τα αντιπροσωπευτικά σημεία στοιχείων συστάδων των συστάδων. Οι αντιπρόσωποι των συστάδων αποθηκεύονται στην αρχική μνήμη (π.χ., RAM), ενώ τα στοιχεία που διαμορφώνουν τις συστάδες αποθηκεύονται στη δευτεροβάθμια μνήμη (π.χ., ένας σκληρός δίσκος). Ένα σε πραγματικό χρόνο σήμα στοιχείων έπειτα αρχικά συγκρίνεται με τα αντιπροσωπευτικά σημεία στοιχείων συστάδων, και όταν γίνεται μια αντιστοιχία με ένα ιδιαίτερο αντιπροσωπευτικό σημείο στοιχείων συστάδων, η συστάδα που συνδέεται με το αντιπροσωπευτικό σημείο στοιχείων συστάδων φορτώνεται από τη δευτεροβάθμια μνήμη στην αρχική μνήμη. Έπειτα μια περαιτέρω αναζήτηση γίνεται με το εισερχόμενο σε πραγματικό χρόνο σήμα στοιχείων για να βρεί την πιό στενή αντιστοιχία στα στοιχεία στη συστάδα. Κατ' αυτό τον τρόπο το ολόκληρο στοιχείο βιβλιοθηκών δεν ειναι απαραίτητο να αναζητηθεί διαδοχικά, και η ολόκληρη βιβλιοθήκη δεν ειναι απαραίτητο να κατοικήσει στην αρχική μνήμη προκειμένου να αναζητηθεί γρήγορα, η οποία και οι δύο συντηρούν το χρόνο και την αρχική μνήμη.