A trench top isolation (TTI) layer (148) and method of forming thereof for a vertical DRAM. A first assist layer (134) is disposed over trench sidewalls (133) and trench capacitor top surfaces (131). A second assist layer (136) is disposed over the first assist layer (134). The second assist layer (136) is removed from over the trench capacitor top surface (131), and the first assist layer (134) is removed from the trench capacitor top surface (131) using the second assist layer (136) as a mask. The second assist layer (136) is removed, and a first insulating layer (140) is disposed over the first assist layer (134) and trench capacitor top surface (131). A second insulating layer (142) is disposed over the first insulating layer (140), and the second insulating layer (142) is removed from the trench sidewalls (133). The first insulating layer (140) and the first assist layer (134) are removed from the trench sidewalls (133). The TTI layer (148) comprises the first and second insulating layer portions (146/144) that are left remaining over the trench capacitors (118). The TTI layer (148) has a greater thickness over the trench capacitor inner regions (152) than over the trench capacitor outer regions (150).

Une couche de l'isolement de dessus de fossé (TTI) (148) et méthode de formation en pour une DRACHME verticale. Une première couche d'aide (134) est disposée au-dessus des parois latérales de fossé (133) et des surfaces supérieures de condensateur de fossé (131). Une deuxième couche d'aide (136) est excédent disposé la première couche d'aide (134). La deuxième couche d'aide (136) est enlevée de au-dessus de la surface supérieure de condensateur de fossé (131), et de la première couche d'aide (134) est enlevée de la surface supérieure de condensateur de fossé (131) employant la deuxième couche d'aide (136) comme masque. La deuxième couche d'aide (136) est enlevée, et une première couche de isolation (140) est excédent disposé la première couche d'aide (134) et la surface supérieure de condensateur de fossé (131). Une deuxième couche de isolation (142) est excédent disposé la première couche de isolation (140), et la deuxième couche de isolation (142) est enlevée des parois latérales de fossé (133). La première couche de isolation (140) et la première couche d'aide (134) sont enlevées des parois latérales de fossé (133). La couche de TTI (148) comporte les premières et deuxièmes parties de couche de isolation (146/144) qui sont laissées restantes au-dessus des condensateurs de fossé (118). La couche de TTI (148) a une plus grande épaisseur au-dessus des régions intérieures de condensateur de fossé (152) qu'au-dessus des régions externes de condensateur de fossé (150).