A method and device for cleaning an electrical contact. Semiconductor testing device. Process of manufacturing integrated circuits. The electrical contact is used for contacting an integrated circuit and accumulates debris during use. The method comprises directing electromagnetic radiation at the contact. The electromagnetic energy reacts with at least one of the contact and the debris so as to cause at least a portion of the debris on the contact to be removed. The electromagnetic radiation may comprise coherent radiation, such as electromagnetic radiation generated using a laser. The portion of the debris may comprise organic debris, aluminum oxide, polyimide, or other debris. According to one aspect of the invention, the contact comprises a conductive material and the electromagnetic radiation causes removal of the portion of the debris substantially without removal of the conductive material. According to another aspect of the invention, the electromagnetic radiation at least partially melts the conductive material. In one preferred system, the contact comprises a probe tip. In such a system the probe tip may comprise the tip of a probe needle mounted to a probe card used for testing integrated circuits.

Метод и приспособление для очищать электрический контакт. Испытательное приспособление полупроводника. Процесс цепей изготавливания интегрированных. Электрический контакт использован для контактировать интегрированную цепь и аккумулирует твердые частицы во время пользы. Метод состоит из сразу электромагнитное излучение на контакте. Электромагнитная энергия реагирует с по крайней мере одной из контакта и твердых частиц для того чтобы причинить по крайней мере часть твердых частиц на контакте извлечься. Электромагнитное излучение может состоять из когерентной радиации, such as электромагнитное произведенное излучение использующ лазер. Часть твердых частиц может состоять из органических твердых частиц, алюминиевой окиси, polyimide, или других твердых частиц. Согласно одному аспекту вымысла, контакт состоит из проводного материала и электромагнитное излучение причиняет удаление части твердых частиц существенн без удаления проводного материала. Согласно другому аспекту вымысла, электромагнитное излучение по крайней мере частично плавит проводной материал. В одном предпочесл систему, контакт состоит из конца зонда. В такой системе конец зонда может состоять из конца иглы зонда установленной к карточке зонда используемой для испытывать интегрированные цепи.