This invention provides a synthetic silica glass optical member used together with light having a specific wavelength of 250 nm or less, in which the difference between the maximum value and the minimum value of transmittance [%/cm] per cm in thickness for the light in a predetermined direction within a plane perpendicular to the optical axis is 2.0%/cm or less.

Αυτή η εφεύρεση παρέχει ένα συνθετικό οπτικό μέλος γυαλιού πυριτίου που χρησιμοποιείται μαζί με το φως που έχει ένα συγκεκριμένο μήκος κύματος 250 NM ή λιγότεροι, στους οποίους η διαφορά μεταξύ της μέγιστης αξίας και της ελάχιστης αξίας της μετάδοσης [ %/θμ ] ανά εκατ. στο πάχος για το φως σε μια προκαθορισμένη κατεύθυνση μέσα σε μια κάθετο αεροπλάνων στον οπτικό άξονα είναι 2,0%/ekat. ή λιγότερος.

 
Web www.patentalert.com

< Optical system with improved durability for projection exposure apparatus and method for manufacturing optical system for projection exposure apparatus

< Coated conductor thick film precursor

> Hybrid circuit having nanotube electromechanical memory

> Process for preparing monoisopropylamine

~ 00077