A jig used in a substrate carrier handling robot calibration process has features that emulate the overhead transport flange and the bottom surface of a standard substrate carrier. The jig further includes features that are allowed to interact with sensors associated with substrate carrier storage locations and/or sensors associated with an end effector of the substrate carrier handling robot. In calibrating the substrate carrier handling robot the jig is juxtaposed with a substrate carrier storage location. The end effector of the robot is moved relative to the substrate carrier storage location and the above-mentioned sensors are allowed to interact with the jig. A controller for the robot detects locations of the end effector at times when the sensors interact with the jig.

Eine Spannvorrichtung, die in einer Substratfördermaschine anfaßt Roboterkalibrierung Prozeß benutzt wird, hat Eigenschaften, die den obenliegenden Transportflansch und die Grundfläche einer Standardsubstratfördermaschine emulieren. Die weitere Spannvorrichtung schließt Eigenschaften ein, die auf die Sensoren, die mit Substratladungsträgerspeicherung Positionen verbunden sind und/oder die Sensoren werden einwirken lassen, die mit einem Ende verbunden sind, das von der Substratfördermaschine ausführend ist, die Roboter anfaßt. Wenn man die Substratfördermaschine kalibriert, die Roboter anfaßt, wird die Spannvorrichtung mit einer Substratladungsträgerspeicherung Position gegeneinander gehalten. Das Ende, das vom Roboter ausführend ist, wird im Verhältnis zu der Substratladungsträgerspeicherung Position verschoben und die obenerwähnten Sensoren werden auf die Spannvorrichtung einwirken lassen. Ein Steuerpult für den Roboter ermittelt Positionen des Endes, das manchmal ausführend ist, wenn die Sensoren auf die Spannvorrichtung einwirken.