A cartridge (10) includes a chuck plate (12) for receiving a wafer (74) and a probe plate (14) for establishing electrical contact with the wafer. In use, a mechanical connecting device (90) locks the chuck plate and the probe plate fixed relative to one another to maintain alignment of the wafer and the probe plate. Preferably, electrical contact with the wafer is established using a probe card (50) that is movably mounted to the probe plate by means of a plurality of leaf springs (52). The mechanical connecting device is preferably a kinematic coupling including a male connector (94) and first and second opposed jaws (122, 124). The cartridge can then be removed from the alignment device and placed in a burn-in or test chamber that does not itself require means for aligning the wafer or for providing a probing force.

Μια κασέτα (10) περιλαμβάνει ένα πιάτο τσοκ (12) για τη λήψη μιας γκοφρέτας (74) και ένα πιάτο ελέγχων (14) για την καθιέρωση της ηλεκτρικής επαφής με την γκοφρέτα. Σε χρήση, μια μηχανική συνδέοντας συσκευή (90) κλειδώνει το πιάτο τσοκ και το πιάτο ελέγχων που καθορίζονται σχετικά με το ένα άλλο για να διατηρήσει την ευθυγράμμιση της γκοφρέτας και του πιάτου ελέγχων. Κατά προτίμηση, η ηλεκτρική επαφή με την γκοφρέτα καθιερώνεται χρησιμοποιώντας μια κάρτα ελέγχων (50) που τοποθετείται movably στο πιάτο ελέγχων με τη βοήθεια μιας πολλαπλότητας των ελατηρίων φύλλων (52). Η μηχανική συνδέοντας συσκευή είναι κατά προτίμηση μια κινηματική σύζευξη συμπεριλαμβανομένου ενός αρσενικού συνδετήρα (94) και πρώτα και των δεύτερων αντιταγμένων σαγονιών (122, 124). Η κασέτα μπορεί έπειτα να αφαιρεθεί από τη συσκευή ευθυγράμμισης και να τοποθετηθεί σε μια αίθουσα καψίματος ή δοκιμής που ο ίδιος δεν απαιτεί τα μέσα για την γκοφρέτα ή για την παροχή μιας εξετάζοντας δύναμης.