Faults occurring in the operation of a rapid thermal process system are detected and dynamically controlled in-situ. A data set is generated which represents the power applied to heating elements which are spatially arranged in a plurality of zones. The data is converted to a sequence of fractions respectively representing the power applied to each zone relative to the total applied power. The fractions are sequentially arranged and a least squares straight line fit for the fractions is calculated. The slope of the calculated straight line fit is used in a statistical process control system to determine whether a fault has occurred, and to make appropriate corrections in process control parameters, such as the length of time the process is carried out.

Des défauts se produisant dans l'opération d'un système de processus thermique rapide sont détectés et in-situ dynamiquement commandé. On produit d'un un Modem qui représente mis sous tension aux éléments de chauffe qui sont dans l'espace arrangés dans une pluralité de zones. Les données sont converties en ordre des fractions représentant respectivement mis sous tension à chaque zone relativement à toute la puissance appliquée. Les fractions sont séquentiellement arrangées et une ligne droite des moindres carrés ajustement pour les fractions est calculée. La pente de la ligne droite calculée ajustement est employée dans un système de contrôle du processus de cycle statistique pour déterminer si un défaut s'est produit, et pour faire des corrections appropriées dans des paramètres de contrôle du processus de cycle, tels que la durée le processus est suivi.