A mask defect printability simulation server provides simulations, one-dimensional analysis, and reports to multiple clients over a wide area network, such as the Internet. This network-based simulation server allows a client to leverage a core of highly-trained engineers. Additionally, the network-based simulation server can be easily supported since only a single source for the tools associated with the simulation server is necessary for multiple clients. A client can access the simulation server using a standard personal computer having a browser, thereby eliminating the need for client to maintain an expensive database for the server. Finally, in the network-based simulation server, multiple users can view the same mask defect image and provide real-time comments to each other as simulation and analysis are performed on the defect image, thereby encouraging problem solving and decision-making dialogue among the users.

Un serveur de simulation d'imprimabilité de défaut de masque fournit des simulations, l'analyse unidimensionnelle, et des rapports aux clients multiples au-dessus d'un réseau étendu, tel que l'Internet. Ce serveur réseau-basé de simulation permet à un client d'accroître un noyau des ingénieurs haut-qualifiés. En plus, le serveur réseau-basé de simulation peut être facilement soutenu puisque seulement une source simple pour les outils liés au serveur de simulation est nécessaire pour les clients multiples. Un client peut accéder au serveur de simulation à l'aide d'un PC standard ayant un navigateur, éliminant de ce fait le besoin du client de maintenir une base de données chère pour le serveur. En conclusion, dans le serveur réseau-basé de simulation, les utilisateurs multiples peuvent regarder la même image de défaut de masque et fournir les commentaires en temps réel entre eux que la simulation et l'analyse sont exécuté sur l'image de défaut, la résolution des problèmes et le dialogue encourageants de ce fait de prise de décision parmi les utilisateurs.