An optical element (1) of the present invention is provided with an optical
substrate (10) and a multilayered optical thin film (11-16) formed on the
optical substrate (10). An MgF.sub.2 layer (12, 16) of the multilayered
optical thin film has a refractive index of 1.10 to 1.35, especially 1.15
to 1.25 with respect to a vacuum ultraviolet light beam having a
wavelength of not more than 250 nm. Therefore, when the optical element
(1) is used together with an excimer laser light beam having a wavelength
of, for example, 248 nm (KrF), 193 nm (ArF), or 157 nm (F.sub.2),
excellent optical characteristics are exhibited concerning, for example,
the reflectance (anti-reflection), the polarization characteristics, and
the dependency on the angle of incidence. The MgF.sub.2 layer (12, 16) can
be produced in accordance with the sol-gel method. The optical element is
preferably used for a projection lens of an exposure apparatus which uses
the excimer laser light beam as a light source.
Un elemento ottico (1) di presente invenzione è fornito di un substrato ottico (10) e di una pellicola sottile ottica multilayered (11-16) formata sul substrato ottico (10). MgF.sub.2 uno strato (12, 16) della pellicola sottile ottica multilayered ha un indice di rifrazione di 1.10 - 1.35, particolarmente 1.15 - 1.25 riguardo ad un fascio della luce ultravioletta di vuoto che ha una lunghezza d'onda non più di di 250 nm. Di conseguenza, quando l'elemento ottico (1) è usato insieme ad un raggio di luce del laser del excimer che ha una lunghezza d'onda di, per esempio, 248 il nm (KrF), 193 il nm (ArF), o 157 il nm (F.sub.2), caratteristiche ottiche eccellenti sono esibiti riguardo a, per esempio, la riflessione (antiriflessione), le caratteristiche di polarizzazione e la dipendenza dall'angolo dell'incidenza. MgF.sub.2 lo strato (12, 16) può essere prodotto in conformità con il metodo del solenoide-gel. L'elemento ottico è usato preferibilmente per un obiettivo della proiezione di un'apparecchiatura per l'esposizione che usa il raggio di luce del laser del excimer come fonte di luce.
