A seal pattern includes a plurality of main seal lines, a first auxiliary seal line including a plurality of first openings and surrounding the plurality of main seal lines, a second auxiliary seal including a plurality of second openings and surrounding the first auxiliary seal line, and a plurality of third auxiliary seal lines positioned between the first and second openings. The third auxiliary seal lines pass only gas such as air and the main seal lines are protected from being damaged from a cleaning detergent or an etchant such as an HF solution during a cleaning and etching process.

Ein Dichtung Muster schließt eine Mehrzahl der Hauptdichtung Linien, der ersten zusätzlichen Dichtung Linie einschließlich eine Mehrzahl der ersten Öffnungen und des Umgebens der Mehrzahl der Hauptdichtung Linien, der zweiten zusätzlichen Dichtung einschließlich eine Mehrzahl der zweiten Öffnungen und des Umgebens der ersten zusätzlichen Dichtung Linie und der Mehrzahl der dritten zusätzlichen Dichtung Linien ein, die zwischen die ersten und zweiten Öffnungen in Position gebracht werden. Die dritten zusätzlichen Dichtung Linien führen nur Gas wie Luft und die Hauptdichtung Linien werden vor von einer reinigenden Reinigung beschädigt werden oder einem etchant wie einer HF Lösung während eines Reinigung und Radierung Prozesses geschützt.