In order to obtain long time stability and usefulness for gas sensitive field-effect devices a micro structured surface is obtained below the final conducting layer. The conductive layer in the trenches or grooves will not only be protected to some extent but also they can constitute a conductive net with edges or boundaries that will remain essentially unchanged even if material is continuously lost along the borderline. The structure can be obtained in the layer laying directly below the conductive layer or in deeper lying layers with intermediate layers with even thickness.

Для того чтобы получить длинние стабилность и пользу времени для приспособлений field-effect газа чувствительных микро- составленная поверхность получена под окончательным дирижируя слоем. Проводной слой в шанцах или пазах not only будет защищен в некоторый объем но также они могут образовать проводную сеть с краями или границами останут необходимо неизменными even if материал непрерывно потерян вдоль borderline. Структуру можно получить в слое кладя сразу под проводным слоем или в более глубоких лежа слоях с промежуточными слоями с ровной толщиной.