A light-and-shade inspecting apparatus and method therefor, includes an image pick-up device for picking up an image of the object to output an image data, an integrated image calculating portion for dividing the image data outputted from the image pick-up device into a mesh pattern of meshes and then adding together the image data within each of the divided meshes to obtain an integrated image, a differentiated image calculating portion for performing a difference operation between each pair of meshes separated by a predetermined interval from each other with respect to their corresponding two integrated images obtained through the integrated image calculating portion, a defect detecting portion for comparing a value obtained through the differentiated image calculating portion with a predetermined value to detect as a defect portion which is partially different in luminance from the other portions on the object, an average value calculating portion for calculating an average value of the integrated image obtained through the integrated image calculating portion, and a light-and-shade deciding portion for deciding whether the defect detected by the defect detecting portion includes a light defect or a shade defect based on the average value obtained through the average value calculating portion and values of the integrated images in respective pairs of meshes apart by the predetermined interval from each other which have been subjected to the difference operation. Thus, low contrast defects can be precisely detect by distinguishing light and shade defects from each other and without mistaking a single defect for two separate defects.

Uma luz-e-máscara que inspeciona o instrumento e o método therefor, inclui um dispositivo do pick-up da imagem para escolher acima de uma imagem do objeto para output uns dados da imagem, uma imagem que integrada a parcela calculadora para dividir os dados da imagem outputted do dispositivo do pick-up da imagem em um teste padrão do engranzamento dos engranzamentos e então adicionando junto os dados da imagem dentro de cada um dos engranzamentos divididos para obter uma imagem integrada, uma parcela calculadora diferenciada da imagem para executar uma operação da diferença entre cada par dos engranzamentos separou por um intervalo predeterminado de se com respeito a suas duas imagens integradas correspondentes obtidas através da parcela calculadora integrada da imagem, um defeito que detecta a parcela para comparar um valor obtido com diferenciada a imagem a parcela calculadora com um valor predeterminado a detectar como uma parcela do defeito que fosse parcialmente diferente no luminance das outras parcelas no objeto, uma parcela calculadora do valor médio para calcular um valor médio da imagem integrada obteve através da parcela calculadora integrada da imagem, e de uma parcela decidindo-se da luz-e-máscara para decidir-se se o defeito detectado pelo defeito que detecta a parcela inclui um defeito claro ou um defeito da máscara baseado no valor médio obtido com a parcela do valor médio e os valores calculadores das imagens integradas em pares respectivos dos engranzamentos distante pelo intervalo predeterminado de se quais foram sujeitados à operação da diferença. Assim, os defeitos baixos do contraste podem ser precisamente detectam distinguindo defeitos da luz e da máscara de se e sem confundir um único defeito por dois defeitos separados.