A functional device and method of manufacturing the same are disclosed. A
low-temperature softening layer and a heat-resistant layer are formed in
this order on a substrate made of organic material such as polyethylene
terephthalate, and a functional layer made of polysilicon is formed
thereon. The functional layer is formed by crystallizing an amorphous
silicon layer (precursor layer), with laser beam irradiation. When a laser
beam is applied, heat causes the substrate to expand. However, stress
caused by a difference in a thermal expansion coefficient between the
substrate and the functional layer is absorbed by the low-temperature
softening layer, so that no cracks and peeling occurs in the functional
layer. The low-temperature softening layer is preferably made of a
polymeric material containing acrylic resin. By properly interposing a
metal layer and a heat-resistant layer between the substrate and the
functional layer, a laser beam of higher intensity can be irradiated.
Un dispositivo e un metodo funzionali di produzione dello stesso sono rilevati. Uno strato di rammollimento a bassa temperatura e uno strato termoresistente sono formati in questo ordine su un substrato fatto di materiale organico quale il tereftalato del polietilene e uno strato funzionale fatto di polysilicon è formato su ciò. Lo strato funzionale è costituito dalla cristallizzazione dello strato amorfo del silicone (strato del precursore), con irradiazione del fascio laser. Quando un fascio laser è applicato, il calore induce il substrato a espandersi. Tuttavia, lo sforzo causato tramite una differenza in un coefficente di espansione termica fra il substrato e lo strato funzionale è assorbito dallo strato di rammollimento a bassa temperatura, di modo che nessuna crepa e sbucciarsi si presenta nello strato funzionale. Lo strato di rammollimento a bassa temperatura è fatto preferibilmente di un materiale polimerico che contiene la resina acrilica. Correttamente interponendo uno strato del metallo e uno strato termoresistente fra il substrato e lo strato funzionale, un fascio laser di più alta intensità può essere irradiato.
