A method of, an and apparatus for, creating an image of currents flowing through current paths in a microelectronic circuit such that the image of the currents has improved spatial resolution using filters. The filters increase the spatial resolution and eliminate noise and edge artifacts in magnetic field and electric field images of electronic circuits. In accordance with the method, a magnetic field image is created with a scanning SQUID microscope. A magnetic inversion technique is then used to convert the magnetic field image into a current density image. The current density image is filtered based upon known restrictions on the wiring geometry of the microelectronic circuit being imaged. The technique can also be applied to convert electric fields of a circuit from a scanning single electron transistor microscope into images of the voltage levels on the wires in the circuit.

Um método de, e instrumento para, criando uma imagem das correntes que correm através de trajetos atuais em um circuito microelectronic tais que a imagem das correntes melhorou a definição spatial usando filtros. Os filtros aumentam a definição spatial e eliminam artifacts do ruído e da borda em imagens do campo magnético e do campo elétrico de circuitos eletrônicos. De acordo com o método, uma imagem do campo magnético é criada com um microscópio do CALAMAR da exploração. Uma técnica magnética do inversion é usada então converter a imagem do campo magnético em uma imagem da densidade atual. A imagem da densidade atual é filtrada baseou em limitações sabidas na geometria da fiação do circuito microelectronic que é imaged. A técnica pode também ser aplicada para converter campos elétricos de um circuito microscópio do transistor do elétron da exploração de um único em imagens dos níveis de tensão nos fios no circuito.