According to the present invention, in optical instruments having a plurality of spaces formed in the optical path of an energy beam IL from a light source, a predetermined energy beam is emitted toward the space on a light source side among a plurality of spaces, and the plurality of spaces are subjected to gas replacement from the space on the light source side, sequentially along the traveling direction of the energy beam, by a gas replacement apparatus. As a result, the concentration of light-absorbing substances and concentration nonuniformity in the space on the optical path can be effectively reduced with minimal gas consumption and within a required time.

Entsprechend der anwesenden Erfindung in den optischen Instrumenten, die eine Mehrzahl der Räume gebildet werden im optischen Weg eines Energielichtstrahls IL von einer Lichtquelle haben, wird ein vorbestimmter Energielichtstrahl in Richtung zum Raum auf einer Lichtquelleseite unter einer Mehrzahl der Räume ausgestrahlt, und die Mehrzahl der Räume werden Gaswiedereinbau vom Raum auf der Lichtquelleseite, der Reihe nach entlang der reisenden Richtung des Energielichtstrahls, durch einen Gaswiedereinbauapparat unterworfen. Infolgedessen kann die Konzentration der Licht-aufsaugenden Substanzen und des Konzentration nonuniformity im Raum auf dem optischen Weg mit minimalem Gasverbrauch und innerhalb einer erforderlichen Zeit effektiv verringert werden.