The wafer clamping apparatus is disclosed including a cam rotatably coupled to a base plate. The cam is configured to couple with a robot arm. The clamping apparatus also includes a rotating clamp mechanism rotatably coupled to the base plate about a single fixed point. A biasing mechanism, coupled to the rotating clamp mechanism, urges the rotating clamp mechanism towards a clamped position. The rotating clamp mechanism is configured to interact with the cam to engage and disengage the rotating clamp mechanism from the clamped position. The rotating clamp mechanism preferably comprises a hub rotatably coupled to the base plate and a clamping arm and cam follower extending from the hub. The clamping arm is configured to clamp a wafer when the rotating clamp mechanism is in the clamped position, while the cam follower is configured to interact with the cam.

La oblea que afianza el aparato con abrazadera se divulga incluyendo una leva juntada rotativo a un embase. La leva se configura para juntarse con un brazo de la robusteza. El aparato que afianza con abrazadera también incluye un mecanismo de la abrazadera que rota juntado rotativo al embase sobre un solo punto fijo. Un mecanismo que predispone, juntado al mecanismo de la abrazadera que rota, impulsa el mecanismo de la abrazadera que rota hacia una posición afianzada con abrazadera. El mecanismo de la abrazadera que rota se configura para obrar recíprocamente con la leva para contratar y para desunir el mecanismo de la abrazadera que rota de la posición afianzada con abrazadera. El mecanismo de la abrazadera que rota abarca preferiblemente un cubo juntado rotativo al embase y a un seguidor del brazo que afianza con abrazadera y de leva que extienden del cubo. El brazo que afianza con abrazadera se configura para afianzar una oblea con abrazadera cuando el mecanismo de la abrazadera que rota está en la posición afianzada con abrazadera, mientras que el seguidor de leva se configura para obrar recíprocamente con la leva.