The mapping sensor system of the invention is intended for use with a mechanical arm of an industrial robot which loads and unloads flat circular objects, such as semiconductor wafers, into and from wafer cassettes on operations of processing the semiconductor wafers in stand-alone or cluster machines used in semiconductor production. The mapping system consists of a light source, a light-receiving element, and a light beam shaper. The light source is installed on the front end of the robot arm and directs the light via the beam shaper to the leading edge of the semiconductor wafer. The beam reflected from the wafer edge is sensed by a light-receiving element, such as a photodiode. The shaper modifies the shape and the cross-section of the beam directed towards the wafer so as to provide reflection from the curvilinear surface of the edge, irrespective of the existence of the notch, most optimum for detection by the photodiodes and without generation of false signals. In one embodiment, the beam shaper contains a special objective with a cylindrical lens. In another embodiment, the beam shaper comprises an anamorphotic objective with an array of microlenses.

Das abbildensensor-System der Erfindung ist für Gebrauch mit einem mechanischen Arm eines Industrieroboters, der flache kreisförmige Gegenstände, wie Halbleiterplättchen, in und von den Oblatekassetten auf Betrieben der Verarbeitung der Halbleiterplättchen in alleinstehendem lädt und leert oder der Blockmaschinen, die in der Halbleiterproduktion benutzt werden bestimmt. Das Einteilungssystem besteht aus einer Lichtquelle, einem Licht-empfangenden Element und einem Lichtstrahlformer. Die Lichtquelle wird am vorderen Ende des Roboterarmes angebracht und das Licht über den Lichtstrahlformer auf den führenden Rand des Halbleiterplättchens verweist. Der Lichtstrahl, der vom Oblaterand reflektiert wird, wird durch ein Licht-empfangendes Element, wie eine Fotodiode abgefragt. Der Former ändert die Form und den Querschnitt des Lichtstrahls, der in Richtung zur Oblate verwiesen wird, um Reflexion von der krummlinigen Oberfläche des Randes, ungeachtet des Bestehens der Kerbe, des meisten Bestwertes für Abfragung zur Verfügung zu stellen durch die Fotodioden und ohne Erzeugung der falschen Signale. In einer Verkörperung enthält der Lichtstrahlformer eine spezielle Zielsetzung mit einem zylinderförmigen Objektiv. In einer anderen Verkörperung enthält der Lichtstrahlformer eine anamorphotic Zielsetzung mit einer Reihe microlenses.