A robot arm mechanism includes a handling member for supporting and
handling an object, a robot arm made up of at least four arm links, and a
robot arm driving mechanism for driving the robot arm to assume its
contracted and extended position. The robot arm comprises first and second
arm links and a link retaining mechanism pivotably retaining the first and
second arm links. The link retaining mechanism comprises first and second
joint cross linkages similar in shape and each having two arms crossed to
each other. The first joint cross linkage is integrally connected with one
of the first and second arm links of the robot arm. The second joint cross
linkage is integrally connected with the other one of the first and second
arm links of the robot arm. This leads to the advantage of providing a
robot arm mechanism exempt from driven gears, belts and pulleys forming
part of a synchronous motion mechanism necessitated by conventional robot
arm mechanisms to ensure that no dust is produced and fallen in a vacuum
working chamber of highly pure air.
Un mecanismo del brazo de la robusteza incluye un miembro de dirección para apoyar y manejar un objeto, un brazo de la robusteza compuesto por lo menos de cuatro acoplamientos del brazo, y un mecanismo de arrastre del brazo de la robusteza para conducir el brazo de la robusteza para asumir su posición contraída y extendida. El brazo de la robusteza abarca primero y los segundos acoplamientos del brazo y un mecanismo de retención del acoplamiento pivotably que conserva los primeros y segundos acoplamientos del brazo. El mecanismo de retención del acoplamiento abarca primero y los acoplamientos cruzados del segundo empalme similares en forma y cada uno que hace dos brazos cruzar el uno al otro. El acoplamiento cruzado del primer empalme está conectado integralmente con uno del primer y los segundos acoplamientos del brazo de la robusteza se arman. El acoplamiento cruzado del segundo empalme está conectado integralmente con el otro del primer y los segundos acoplamientos del brazo de la robusteza se arman. Esto conduce a la ventaja de proporcionar un mecanismo del brazo de la robusteza exento de los engranajes impulsores, de las correas y de las poleas formando la parte de un mecanismo síncrono del movimiento hecho necesario por los mecanismos convencionales del brazo de la robusteza para asegurarse de que no se produce y está caído ningún polvo en un compartimiento de trabajo del vacío del aire altamente puro.
