A low magnification liquid immersion objective lens system uses an immersion liquid having a refractive index for the d-line within a range defined by a condition (1) shown below, and has a magnification .beta. and a working distance WDL which satisfy the following conditions (2) and (3): 1.34.ltoreq.ND.ltoreq.1.80 (1) .beta..ltoreq.15 (2) WDL.ltoreq.0.35 mm. (3)

Un système objectif d'objectif de basse immersion liquide de rapport optique emploie un liquide d'immersion ayant un indice de réfraction pour la d-ligne dans une marge définie par une condition (1) montrée ci-dessous, et a un beta. et une distance fonctionnante WDL de rapport optique ce qui satisfont les conditions suivantes (2) et (3) : beta..ltoreq.15 de 1.34.ltoreq.ND.ltoreq.1.80 (1) (2) WDL.ltoreq.0.35 millimètre. (3)