A laser for an excimer or molecular fluorine laser includes an electrode chamber connected with a gas flow vessel and having a pair of main electrodes and a preionization unit each connected to a discharge circuit. A spoiler is provided within the electrode chamber and is shaped to provide a more uniform gas flow through the discharge area between the main electrodes, to shield one of the preionization units from one of the main electrodes, and to reflect acoustic waves generated in the discharge area into the gas flow vessel for absorption therein. A spoiler unit may include a pair of opposed spoiler elements on either side of the discharge area. One or both main electrodes includes a base portion and a center portion which may be a nipple protruding from the base portion. The center portion substantially carries the periodic discharge current such that the discharge width is and may be significantly less than the width of the base portion. The curvatures of both main electrodes may conform to the curvature of the gas flow through the discharge chamber to further improve aerodynamic performance. A plurality of low inductive conducting ribs are connected to the grounded main electrode and shaped to provide a more uniform flow of gases through openings defined between adjacent ribs.

Ein Laser für ein excimer oder molekularer Fluorlaser schließt einen Elektrode Raum ein, der mit einem Gasflußbehälter und Haben eines Paares der Hauptelektroden und der preionization Maßeinheit jede angeschlossen wird, die an einen Entladung Stromkreis angeschlossen wird. Ein Räuber wird innerhalb des Elektrode Raumes zur Verfügung gestellt und wird geformt, um ein konstanteres Gas zur Verfügung zu stellen durchfließen den Entladung Bereich zwischen den Hauptelektroden, um eine der preionization Maßeinheiten von einer der Hauptelektroden abzuschirmen, und die akustischen Wellen zu reflektieren, die darin im Entladung Bereich in den Gasflußbehälter für Absorption erzeugt werden. Eine Räubermaßeinheit kann ein Paar entgegengesetzte Räuberelemente des Entladung Bereichs auf beiden Seiten einschließen. Eine oder beide Hauptelektroden schließt einen niedrigen Teil und einen Mittelteil ein, die ein Nippel sein können, der vom niedrigen Teil hervorsteht. Der Mittelteil trägt im wesentlichen den periodischen Entladungsstrom so, daß die Entladung Breite kleiner als die Breite des niedrigen Teils erheblich sein ist und kann. Die Biegungen beider Hauptelektroden können an die Biegung des Gases sich anpassen durchfließen den Entladung Raum, um aerodynamische Leistung weiter zu verbessern. Eine Mehrzahl der niedrigen induktiven Leitrippen werden an die geerdete Hauptelektrode angeschlossen und geformt, um einen mehr konstanten Fluß der Gase durch die Öffnungen zur Verfügung zu stellen, die zwischen angrenzenden Rippen definiert werden.