A planar optical attenuator designed as a MEMS structure has a mirror opposite an input and an output waveguide, and a TAB actuator for lateral displacement of the mirror relative to the input port and/or output port. The effective reflectivity of the mirror is variable as a function of the lateral location on the mirror. The optical attenuation is varied by varying the location on the mirror at which the optical beam is reflected.

Ένας επίπεδος οπτικός εξασθενητής που σχεδιάζεται ως δομή MEMS έχει έναν καθρέφτη απέναντι από μια εισαγωγή και έναν κυματοδηγό παραγωγής, και έναν ενεργοποιητή ΕΤΙΚΕΤΤΏΝ για την πλευρική μετατόπιση του καθρέφτη σχετικά με το λιμένα εισαγωγής ή/και το λιμένα παραγωγής. Η αποτελεσματική ανακλαστικότητα του καθρέφτη είναι μεταβλητή ως λειτουργία της πλευρικής θέσης στον καθρέφτη. Η οπτική μείωση ποικίλλεται με την ποικιλία της θέσης στον καθρέφτη στον οποίο η οπτική ακτίνα απεικονίζεται.