An ID code reader, adapted to read an ID code from a wafer cassette or other substrate carrier, is integrated with a substrate carrier handling robot. In one aspect, the robot includes a support structure, and a chassis mounted for movement on the support structure. In this aspect an ID code reader is mounted on the chassis or otherwise mounted for movement along with an end effector adapted to engage the substrate carrier.

Integran a un lector de código de identificación, adaptado para leer un código de identificación del cassette de la oblea o del otro portador del substrato, con un portador del substrato que maneja la robusteza. En un aspecto, la robusteza incluye una estructura de la ayuda, y un chasis montado para el movimiento en la estructura de la ayuda. En este aspecto montan a un lector de código de identificación en el chasis o montado de otra manera para el movimiento junto con un effector del final adaptada a contrate el portador del substrato.