The present invention improves inspection efficiency in detailed inspections of defects performed based on inspection information from a defect inspection. Particles and defects are detected by a defect inspection device 1. If the cause of the particles and defects are to be determined by performing a detailed inspection with a details inspection device 3 using an SEM or the like, attributes are determined on the particles and defects detected by the defects inspection device 1 before the detailed inspection is performed. The attributes are determined with an attribute inspection device using an optical microscope or the like. Based on these attributes, the defects and particles are separated into those that require detailed inspection and those that do not require detailed inspection or that cannot be inspected in detail. A details inspection device 3 is used to inspect the particles and defects requiring detailed inspection.

A invenção atual melhora a eficiência da inspeção em inspeçãos detalhadas dos defeitos executados baseados na informação da inspeção de uma inspeção do defeito. As partículas e os defeitos são detectados por um dispositivo 1 da inspeção do defeito. Se a causa das partículas e os defeitos deverem ser determinados executando uma inspeção detalhada com um dispositivo 3 da inspeção dos detalhes usando um SEM ou o gosto, os atributos estão determinados nas partículas e nos defeitos detectados pelo dispositivo 1 da inspeção dos defeitos antes que a inspeção detalhada esteja executada. Os atributos são determinados com um dispositivo da inspeção de atributo usando um microscópio ótico ou o gosto. Baseado nestes atributos, os defeitos e as partículas são separados naqueles que requerem inspeção detalhada e naqueles que não requerem inspeção detalhada ou que não podem ser inspecionadas em detalhe. Um dispositivo 3 da inspeção dos detalhes é usado inspecionar as partículas e os defeitos que requerem inspeção detalhada.