A reliable modular production quality ArF excimer laser capable of producing laser pulses at repetition rates in the range of 3,000 to 4,000 Hz or greater with pulse energies in the range of about 2 mJ to 5 mJ or greater with a full width half, maximum bandwidth of about 0.4 pm or less and dose stability of less than 0.4 percent. Using this laser as an illumination source, stepper or scanner equipment can produce integrated circuit resolution of 0.10 .mu.m (100 nm) or less. Replaceable modules include a laser chamber; a modular pulse power system; and a line narrowing module. For a given laser power output, the higher repetition rate provides two important advantages. The lower per pulse energy means less optical damage and the larger number of pulses for a specified illumination dose means better dose stability.

Надежный модульный лазер excimer ArF качества продукции способный производить лазер пульсирует на тарифы повторения в ряде от 3.000 до 4.000 герца или более больших с mJ in the range of about 2 энергий ИМПА ульс к mJ 5 или более больших с полной шириной полосы частот ширины половинной, максимальной около 0.4 pm или более менее и стабилностью дозы меньш чем 0.4 процентов. Использующ этот лазер как источник освещения, оборудование stepper или блока развертки может произвести разрешение интегрированной цепи 0.10 mu.m (100 nm) или более менее. Меняемые модули вклюают камеру лазера; модульная система силы ИМПА ульс; и линия суживая модуль. Для, котор дали выходной мощности лазера, более высокий тариф повторения обеспечивает 2 важных преимущества. Низкое в энергию ИМПА ульс намеревается меньше оптически повреждению и более большому числу ИМПОВ ульс для определенной дозы освещения намеревается более лучшая стабилность дозы.