Spherical, non-crystalline silica particles made by burning a non-halogenated siloxane starting material are substantially halogen-free, and have a content of metallic impurities other than silicon of not more than 1 ppm, a particle size of 10 nm to 10 .mu.m and a specific surface area of 3-300 m.sup.2 /g. Production of the particles is carried out by oxidative combustion of the non-halogenated siloxane in a flame at a high adiabatic flame temperature to effect the formation of a large number of core particles and promote their coalescence and growth.

Las partículas esféricas, no cristalinas de la silicona hechas quemándose un material que comienza no-halogenado del siloxane son substancialmente halo'geno-libres, y tienen un contenido de impurezas metálicas con excepción del silicio de no más que 1 PPM, un tamaño de partícula de 10 nm al mu.m 10 y un área superficial específica de la producción de 3-300 m.sup.2 /g. de las partículas es realizado por la combustión oxidative del siloxane no-halogenado en una llama en una alta temperatura adibática de la llama para efectuar la formación de una gran cantidad de partículas de la base y para promover su fusión y crecimiento.