A process for removing contaminants from the surface of a substrate comprises contacting the substrate with a cleaning composition comprising at least one mono-, di-, or trialkoxy-substituted perfluoroalkane, perfluorocycloalkane, perfluorocycloalkyl-containing perfluoroalkane, or perfluorocycloalkylene-containing perfluoroalkane compound, the compound optionally containing additional catenary heteroatoms. The compounds exhibit good solvency properties while being environmentally acceptable.

Ein Prozeß für das Entfernen der verunreiniger von der Oberfläche eines Substrates enthält das In Verbindung treten mit dem Substrat mit einem Reinigung Aufbau, der Mono mindestens ein enthält -, Di - oder trialkoxy-ersetztes perfluoroalkane, das perfluorocycloalkane, perfluorocycloalkyl-enthält perfluoroalkane, oder perfluorocycloalkylene-enthält perfluoroalkane Mittel, das Mittel, das beliebig zusätzliche Kettenheteroatoms enthält. Die Mittel stellen gute Solvencyeigenschaften beim annehmbar umweltsmäßig sein aus.