An integrated tool is provided including at least one workpiece processing
station having a paddle assembly. In accordance with one aspect of the
invention, the workpiece processing station is adapted for adjusting the
level of the processing fluid relative to a workpiece, wherein the portion
of the workpiece to be processed and possibly the paddle is selectively
immersed within the processing fluid. In accordance with a further aspect
of the invention, a paddle is provided for use proximate to a workpiece in
a workpiece processing station. The paddle includes a one or more sets of
delivery ports and one or more sets of fluid recovery ports. In at least
one embodiment, the paddle provides for agitation of a processing fluid
proximate to the surface of the workpiece. In at least another embodiment,
the paddle provides for the delivery and/or recovery of one or more fluids
to the portion of the workpiece to be processed. One aspect of the present
invention enables the fluids supplied to the workpiece by the paddle to be
limited to the space located between the workpiece and the paddle, thus
avoiding mixing of these fluids with the processing fluid located within
the bowl assembly not supplied by the paddle.
Un outil intégré est fourni comprenant au moins un objet traitant la station ayant une palette. Selon un mode de l'invention, l'objet traitant la station est adapté pour ajuster le niveau du fluide de traitement relativement à un objet, où la partie de l'objet à traiter et probablement la palette est sélectivement immergée dans le fluide de traitement. Selon un aspect de l'invention, une palette est donnée pour l'utilisation proche à un objet dans un objet traitant la station. La palette inclut un ou plusieurs ensembles de ports de la livraison et un ou plusieurs ensembles de ports liquides de rétablissement. Dans au moins une incorporation, la palette prévoit l'agitation d'un proche liquide de traitement à la surface de l'objet. Dans au moins une autre incorporation, la palette prévoit la livraison et/ou le rétablissement d'un ou plusieurs fluides à la partie de l'objet à traiter. Un aspect de la présente invention permet les fluides fournis à l'objet par la palette à limiter à l'espace situé entre l'objet et la palette, de ce fait évitant le mélange de ces fluides au fluide de traitement situé dans la cuvette non fournie par la palette.
