Compounds of formula I, II and III, wherein ##STR1## wherein R.sub.1 is for example hydrogen, C.sub.1 -C.sub.12 alkyl, C.sub.3 -C.sub.30 cycloalkyl, C.sub.2 -C.sub.12 alkenyl, C.sub.4 -C.sub.8 cycloalkenyl, phenyl, which is unsubstituted or substituted, naphthyl, anthracyl or phenanthryl, unsubstituted or substituted, heteroaryl radical which is unsubstituted or substituted; wherein all radicals R.sub.1 with the exception of hydrogen can additionally be substituted by a group having a --O--C-bond or a --O--Si-bond which cleaves upon the action of an acid; R'.sub.1 is for example phenylene, naphthylene, diphenylene or oxydiphenylene, wherein these radicals are unsubstituted or substituted; R.sub.2 is halogen or C.sub.1 -C.sub.10 haloalkyl; R.sub.3 is for example C.sub.1 -C.sub.18 alkylsulfonyl, phenylsulfonyl, naphthylsulfonyl, anthracylsulfonyl or phenanthrylsulfonyl, wherein the groups are unsubstituted or substituted, or R.sub.3 is e.g. C.sub.2 -C.sub.6 haloalkanoyl, or halobenzoyl, R'.sub.3 is for example phenylenedisulfonyl, naphthylenedisulfonyl, diphenylenedisulfonyl, or oxydiphenylenedisulfonyl, wherein these radicals are unsubstituted or substituted, X is halogen; are especially suitable as photosensitive acid-donors in chemically amplified resist formulations.

Смеси формулы iego, II и III, при котором ## при котором R.sub.1 будет например водоподом, C.sub.1 ## STR1 - C.sub.12 алкил, C.sub.3 - C.sub.30 cycloalkyl, C.sub.2 - C.sub.12 алкенил, C.sub.4 - C.sub.8 cycloalkenyl, фенил, который unsubstituted или заменены, нафтил, anthracyl или phenanthryl, unsubstituted или заменено, радикал heteroaryl который unsubstituted или заменен; при котором все радикалы R.sub.1 за исключением водопода могут дополнительн быть заменены группой имея а -- о -- Ч-skrepite или а -- о -- Кремни-skrepite колет на действии кислоты; R'.sub.1 будет например фениленом, naphthylene, diphenylene или oxydiphenylene, при котором эти радикалы unsubstituted или заменены; R.sub.2 будет галоидом или C.sub.1 - haloalkyl C.sub.10; R.sub.3 будет например C.sub.1 - alkylsulfonyl C.sub.18, phenylsulfonyl, naphthylsulfonyl, anthracylsulfonyl или phenanthrylsulfonyl, при котором группы unsubstituted или заменены, или R.sub.3 например C.sub.2 - haloalkanoyl C.sub.6, или halobenzoyl, R'.sub.3 будет например phenylenedisulfonyl, naphthylenedisulfonyl, diphenylenedisulfonyl, или oxydiphenylenedisulfonyl, при котором эти радикалы unsubstituted или заменены, х будет галоидом; будьте специально целесообразн по мере того как фоточувствительные кислот-dariteli в химически после того как я усилены сопротивляют образованиям.