A process for coating a substrate surface with a diamond-like carbon film, in which a starting material gas comprising a hydrocarbon compound is introduced into a Hall accelerator ion source with an inner pressure thereof reduced to 1.times.10.sup.-5 to 1.times.10.sup.-1 Torr, an ion beam in which 80% or more of the ion beams formed have an impinging energy in the range of 100 to 1500 eV is formed in the ion source, and irradiated onto a substrate comprising various kinds of materials in a vacuum chamber, to thereby coat the substrate surface with a diamond-like carbon film with a strong adhesion to an extent such that is can with stand practical application.

Μια διαδικασία για μια επιφάνεια υποστρωμάτων με μια αδαμαντοειδή ταινία άνθρακα, στην οποία ένα αρχικό υλικό που περιλαμβάνει αέριο μια ένωση υδρογονανθράκων εισάγεται σε μια ιονική πηγή επιταχυντών αιθουσών με μια εσωτερική πίεση που μειώνεται επ' αυτού 1.τημες.10.σuπ.-5 έως 1.τημες.10.σuπ.-1 torr, μια ιονική ακτίνα στην οποία 80% ή περισσότεροι των ιονικών ακτίνων που διαμορφώνονται έχουν μια προσκρούοντας ενέργεια στη σειρά 100 έως 1500 eV διαμορφώνεται στην ιονική πηγή, και ακτινοβολημένος επάνω σε ένα υπόστρωμα η συμπερίληψη των διάφορων ειδών υλικών σε μια κενή αίθουσα, για με αυτόν τον τρόπο να ντύσει την επιφάνεια υποστρωμάτων με μια αδαμαντοειδή ταινία άνθρακα με μια ισχυρή προσκόλληση σε μια έκταση έτσι ώστε είναι μπορεί με πρακτική εφαρμογή στάσεων.