An edge gripping device for a robot arm grips and ungrips substrates, such as semiconductor wafers. A base is fixed to an end of the robot arm. A blade, having a distal contact location thereon, and a pusher bar, having preferably two proximal contact locations thereon, are movably mounted to the base via a linkage mechanism. The linkage mechanism includes two four-bar linkages. The first four-bar linkage has a stationary link and three movable links connected in a parallelogram configuration. The pusher bar is fixed to one of the movable links of the first linkage for movement therewith. The second four-bar linkage has a stationary link and three movable links connected in a trapezoidal configuration. The blade is fixed to one of the movable links of the second linkage for movement therewith. The two linkages share a stationary pivot point. An actuator having one end fixed with respect to the first linkage and an opposite end fixed with respect to the second linkage is operative to move the first linkage and the second linkage. The proximal contact location moves substantially horizontally and the distal contact location moves vertically and horizontally.

Un dispositivo commovente del bordo per le prese del braccio del robot ed i substrati dei ungrips, quali le cialde a semiconduttore. Una base è riparata ad un'estremità del braccio del robot. Una lamierina, avendo una posizione distale del contatto su ciò e una barra dello spingitoio, avendo preferibilmente due posizioni prossimali del contatto su ciò, mobile è montata alla base via un meccanismo del collegamento. Il meccanismo del collegamento include due collegamenti della quattro-barra. Il primo collegamento della quattro-barra ha un collegamento stazionario e tre collegamenti mobili collegati in una configurazione di parallelogramma. La barra dello spingitoio è riparata ad uno dei collegamenti mobili del primo collegamento per movimento di conseguenza. Il secondo collegamento della quattro-barra ha un collegamento stazionario e tre collegamenti mobili collegati in una configurazione trapezoidale. La lamierina è riparata ad uno dei collegamenti mobili del secondo collegamento per movimento di conseguenza. I due collegamenti ripartiscono un punto stazionario del perno. Un azionatore che ha un'estremità riparata riguardo al primo collegamento e un'estremità opposta riparata riguardo al secondo collegamento è attivo spostare il primo collegamento ed il secondo collegamento. La posizione prossimale del contatto si muove sostanzialmente orizzontalmente e la posizione distale del contatto si muove verticalmente ed orizzontalmente.