An excimer laser device which neither corrodes due to a laser gas nor contaminates the laser gas is provided. For this purpose, in an excimer laser device including a cross flow fan (1) disposed in a chamber (2) for circulating a laser gas, magnetic bearings (12, 12) having outer ring magnet coils (11, 11) and inner ring magnetic substances (10, 10) for rotatably supporting a rotating shaft (9) by magnetic force, and a motor (49) having a stator (47) and a rotor (48) for directly and rotationally driving the cross flow fan (1), the outer ring magnet coils (11, 11), the inner ring magnetic substances (10, 10), the rotor (48), and the stator (47) are respectively housed in shielded spaces shielded from the laser gas.

Um dispositivo do laser do excimer que nem corroa devido a um gás do laser nem contamine o gás do laser é fornecido. Para esta finalidade, em um dispositivo do laser do excimer including um ventilador transversal do fluxo (1) disposto em uma câmara (2) para circular um gás do laser, os rolamentos magnéticos (12, 12) tendo o ímã exterior do anel bobinam (11, 11) e os substâncias magnéticos do anel interno (10, 10) para rotatably suportar um eixo girando (9) pela força magnética, e um motor (49) que tem um estator (47) e um rotor (48) para diretamente e rotationally dirigindo o ventilador transversal do fluxo (1), o ímã exterior do anel bobina (11, 11), as substâncias magnéticas do anel interno (10, 10), o rotor (48), e o estator (47) são abrigados respectivamente nos espaços protegidos protegidos do gás do laser.