An apparatus substitute is carried and installed in a clean room prior to installation of a semiconductor manufacturing apparatus. The apparatus substitute is composed of separate assembling boxes and is provided with tentative utility connection parts having the same specifications with respect to utility connection parts of the semiconductor manufacturing apparatus. Each of the utility connection parts is temporarily connected to one of a utility line via respective joint pipes. In the utility connection works or temporary connection, an apparatus installation position can be adjusted; a position or a size of a support plate of a floor can be corrected; a route of a utility line or a position can be corrected; or an inspection with respect to each utility line can be performed. After the completion of the inspection of the temporary connection, the utility lines are disconnected from the respective utility connection parts, and the apparatus substitute is divided into the individual boxes and removed from the clean room.

Un sostituto dell'apparecchio è trasportato ed installato in una stanza pulita prima di installazione di un'apparecchiatura di manufacturing a semiconduttore. Il sostituto dell'apparecchio si compone di scatole di montaggio separate ed è fornito delle parti pratiche sperimentali del collegamento che hanno le stesse specifiche riguardo alle parti pratiche del collegamento dell'apparecchiatura di manufacturing a semiconduttore. Ciascuna delle parti pratiche del collegamento temporaneamente è collegata ad una di una linea pratica via i tubi uniti rispettivi. Negli impianti del collegamento di programma di utilità o nel collegamento provvisorio, una posizione di installazione dell'apparecchio può essere registrata; una posizione o un formato di una piastra di sostegno di un pavimento può essere corretto; un itinerario di una linea pratica o di una posizione può essere corretto; o un controllo riguardo ad ogni linea pratica può essere realizzato. Dopo il completamento del controllo del collegamento provvisorio, le linee pratiche sono staccate dalle parti pratiche rispettive del collegamento ed il sostituto dell'apparecchio è diviso nelle diverse scatole ed è rimosso dalla stanza pulita.