An electric discharge laser with fast wavelength correction. Fast wavelength correction equipment includes at least one piezoelectric drive and a fast wavelength measurement system and fast feedback response times. In a preferred embodiment, equipment is provided to control wavelength on a slow time frame of several milliseconds, on a intermediate time from of about one to three millisecond and on a very fast time frame of a few microseconds. Techniques include a combination of a relatively slow stepper motor and a very fast piezoelectric driver for tuning the laser wavelength using a tuning mirror. A preferred control technique is described (utilizing a very fast wavelength monitor) to provide the slow and intermediate wavelength control and a piezoelectric load cell in combination with the piezoelectric driver to provide the very fast (few microseconds) wavelength control.

Un laser elettrico di scarico con la correzione veloce di lunghezza d'onda. L'apparecchiatura veloce di correzione di lunghezza d'onda include almeno un azionamento piezoelettrico ed i tempi di reazione veloci veloci del sistema di misura di lunghezza d'onda e di risposte. In un metodo di realizzazione preferito, l'apparecchiatura è fornita alla lunghezza d'onda di controllo su una struttura di tempo lenta di parecchi millisecondi, su un tempo intermedio di circa un - tre millisecondi e su una struttura di tempo molto veloce di alcuni microsecondi. Le tecniche includono una combinazione di un motore passo a passo relativamente lento e di un driver piezoelettrico molto veloce per la sintonizzazione della lunghezza d'onda del laser per mezzo di uno specchio di sintonia. Una tecnica preferita di controllo è descritta (utilizzando un video molto veloce di lunghezza d'onda) per fornire il controllo lento ed intermedio di lunghezza d'onda e una cellula di carico piezoelettrica congiuntamente al driver piezoelettrico per fornire (il controllo molto veloce di lunghezza d'onda di pochi microsecondi).