Electric discharge laser with fast chirp correction. Fast wavelength chirp correction equipment includes at least one piezoelectric drive and a fast wavelength detection means and has a feedback response time of less than 1.0 millisecond. In a preferred embodiment a simple learning algorithm is described to allow advance tuning mirror adjustment in anticipation of the learned chirp pattern. Techniques include a combination of a relatively slow stepper motor and a very fast piezoelectric driver. In another preferred embodiment chirp correction is made on a pulse-to-pulse basis where the wavelength of one pulse is measured and the wavelength of the next pulse is corrected based on the measurement. This correction technique is able to function at repetition rates as rapid as 2000 Hz and greater.

Laser elétrico da descarga com correção rápida do chilro. O equipamento rápido da correção do chilro do wavelength inclui ao menos uma movimentação piezoelectric e meios rápidos de uma deteção do wavelength e tem uma estadia de resposta do gabarito de menos de 1.0 milissegundo. Em uma incorporação preferida um algoritmo de aprendizagem simples é descrito para permitir o ajuste ajustando do espelho do avanço em antecipação ao teste padrão instruído do chilro. As técnicas incluem uma combinação de um motor deslizante relativamente lento e de um excitador piezoelectric muito rápido. Outro em chilro preferido da incorporação a correção é feita em uma base do pulso-à-pulso onde o wavelength de um pulso seja medido e o wavelength do pulso seguinte seja corrigido baseie na medida. Esta técnica da correção pode funcionar nas taxas da repetição tão rápidas quanto 2000 hertz e mais grandes.