In at least one embodiment, a MEMS optomechanical switch in accordance with the present invention includes a substrate, a signal source capable of transmitting a radiation signal, an electrode coupled to the substrate, and a micromachined plate rotatably coupled to the substrate about a pivot axis. The switch further includes a micromirror having an orientated reflective surface, mounted to the micromachined plate and an electrical source coupled to at least one of the electrode and the micromachined plate.

В по крайней мере одно воплощение, переключатель MEMS optomechanical в соответствии с присытствыющим вымыслом вклюает субстрат, источник сигнала способный передавать сигнал радиации, электрод соединенный к субстрату, и а micromachined плита ротатабельн соединенная к субстрату о оси оси. Переключатель более дальнейший вклюает micromirror имея orientated отражательная поверхность, установленная к micromachined плита и электрический источник соединил до по крайней мере один из электрода и micromachined плита.