The present invention provides a method of calibrating an analytical tool. The method, in a illustrative embodiment, includes determining a concentration of an element located within a known matrix, obtaining a calibration standard of the known matrix with a polishing process, the calibration standard being representative of the concentration, and obtaining a detection limit of an analytical tool with respect to the concentration. Furthermore, secondary ion mass spectrometry may be used to determine the concentration of the element within the known matrix.

Η παρούσα εφεύρεση παρέχει μια μέθοδο ένα αναλυτικό εργαλείο. Η μέθοδος, σε μια επεξηγηματική ενσωμάτωση, περιλαμβάνει τον καθορισμό μιας συγκέντρωσης ενός στοιχείου που βρίσκεται μέσα σε μια γνωστή μήτρα, λαμβάνοντας πρότυπα βαθμολόγησης της γνωστής μήτρας με μια διαδικασία στίλβωσης, τα πρότυπα βαθμολόγησης που είναι αντιπροσωπευτική της συγκέντρωσης, και που λαμβάνει ένα όριο ανίχνευσης ενός αναλυτικού εργαλείου όσον αφορά τη συγκέντρωση. Επιπλέον, η φασματομετρία δευτεροβάθμιας μάζας ιόντων μπορεί να χρησιμοποιηθεί για να καθορίσει τη συγκέντρωση του στοιχείου μέσα στη γνωστή μήτρα.