A resistant based thermal probe including a nanometer sized four-leg filament integrated with a piezoresistive AFM type cantilever is created by depositing the filament structure onto the cantilever by a chemical vapor deposition technique where the cantilever is exposed to the flux of precursor gas. An incident electron beam causes a fragmentation of the gas molecules leaving a deposit behind which leads to a conductive deposit shaped as a multi-leg filament structure for thermal measurements of a sample. A deposited four leg filament structure has a mechanical rigidity, high spatial resolution, low thermal conductivity and thermal capacitance, fast response time, and in combination with a four point resistant measurement and lock-in technique, eliminates resistivity for increasing both the temperature sensitivity and the signal-to-noise ratio of the thermal probe.

Ένας ανθεκτικός βασισμένος θερμικός έλεγχος συμπεριλαμβανομένου ενός nanometer ταξινόμησε την τετράποδη ίνα που ενσωματώθηκε με piezoresistive cantilever τύπων AFM δημιουργείται με την κατάθεση της δομής ινών επάνω cantilever από μια τεχνική απόθεσης χημικού ατμού όπου cantilever εκτίθεται στη ροή του προδρόμου αέριο. Μια συναφής δέσμη ηλεκτρονίων προκαλεί έναν τεμαχισμό των αέριο μορίων αφήνοντας μια κατάθεση πίσω από την οποία οι μόλυβδοι σε μια αγώγιμη κατάθεση διαμόρφωσαν ως δομή ινών πολυ-ποδιών για τις θερμικές μετρήσεις ενός δείγματος. Μια κατατεθειμένη δομή ινών τεσσάρων ποδιών έχει μια μηχανική ακαμψία, μια υψηλή χωρική ανάλυση, μια χαμηλή θερμική αγωγιμότητα και μια θερμική ικανότητα, γρήγορος χρόνος απόκρισης, και σε συνδυασμό με τέσσερα δείχνουν την ανθεκτική μέτρηση και κλειδαριά- στην τεχνική, αποβάλλουν την ειδική αντίσταση για την αύξηση και της ευαισθησίας θερμοκρασίας και της σήματος προς θόρυβο αναλογίας του θερμικού ελέγχου.