A magnetic tunneling element in which the tunnel current flows reliably to exhibit a stable magnetic tunneling effect. The magnetic tunneling element includes a first magnetic layer, a tunnel barrier layer formed on the first magnetic layer, and a second magnetic layer formed on the tunnel barrier layer. The tunnel barrier layer is a metal film oxidized by inductively coupled oxygen plasma and a second magnetic layer is formed on the tunnel barrier layer.

Een magnetisch een tunnel gravend element waarin de tunnel huidige stromen betrouwbaar om een stabiel magnetisch het een tunnel graven effect tentoon te stellen. Het magnetische een tunnel gravende element omvat een eerste magnetische laag, een laag van de tunnelbarrière die op de eerste magnetische laag wordt gevormd, en een tweede magnetische laag die op de laag van de tunnelbarrière wordt gevormd. De laag van de tunnelbarrière is een metaalfilm die door inductief gekoppeld zuurstofplasma wordt geoxydeerd en een tweede magnetische laag wordt gevormd op de laag van de tunnelbarrière.