Disclosed is a method of horizontally growing carbon nanotubes, in which the carbon nanotubes can be selectively grown in a horizontal direction at specific locations of a substrate having catalyst formed thereat, so that the method can be usefully utilized in fabricating nano-devices. The method includes the steps of: (a) forming a predetermined catalyst pattern on a first substrate; (b) forming a vertical growth preventing layer on the first substrate, which prevents carbon nanotubes from growing in a vertical direction; (c) forming apertures through the vertical growth preventing layer and the first substrate to expose the catalyst pattern through the apertures; and (d) synthesizing carbon nanotubes at exposed surfaces of the catalyst pattern in order to grow the carbon nanotubes in the horizontal direction.

Worden gegeben eine Methode von Carbon nanotubes horizontal wachsen frei, in denen die Carbon nanotubes in einer horizontalen Richtung an den spezifischen Positionen eines Substrates selektiv gewachsen werden können, das Katalysator gebildetes thereat hat, damit die Methode in fabrizierenden Nanovorrichtungen nützlich verwendet werden kann. Die Methode schließt die Schritte von ein: (a) Formung eines vorbestimmten Katalysatormusters auf einem ersten Substrat; (b), ein vertikales Wachstum bildend, das Schicht auf dem ersten Substrat verhindert, das Carbon nanotubes am Wachsen in einer vertikalen Richtung verhindert; (c) Formung der Blendenöffnungen durch das vertikale Wachstum, das Schicht und das erste Substrat verhindert, um das Katalysatormuster durch die Blendenöffnungen herauszustellen; und (d), Carbon nanotubes an herausgestellten Oberflächen des Katalysatormusters synthetisierend, um die Carbon nanotubes in der horizontalen Richtung zu wachsen.