A simple method for preventing oxidization of an aluminum surface of terminal electrode, increase of pressure contact resistance, unstability and reduction of connection reliability is provided. In a terminal electrode part on a reactive matrix substrate, for being connected to an external drive circuit, connecting electrodes are formed by using aluminum or an aluminum alloy, at least their surfaces connected to TCP are covered with an insulating film of aluminum oxide or consisting of a laminate film of aluminum oxide aluminum hydroxide, and the insulating film is selectively removed in a step subsequent to the final step in a cell formation process. In this way, adverse effects of the heat treatment processes such as the annealing in the array formation process and the orientation film sintering of the cell formation process and the oxidization of the connecting electrode surface in the washing.

Une méthode simple pour empêcher l'oxydation d'une surface en aluminium d'électrode terminale, de l'augmentation de la résistance de contact de pression, de l'instabilité et de la réduction de fiabilité de raccordement est fournie. Dans une pièce terminale d'électrode sur un substrat réactif de matrice, parce que étant relié à un circuit externe d'entraînement, des électrodes se reliantes sont constituées en employant l'aluminium ou un alliage d'aluminium, au moins leurs surfaces reliées au TCP sont couvertes de film isolant de l'oxyde d'aluminium ou de se composer d'un film en stratifié d'hydroxyde d'aluminium d'oxyde d'aluminium, et le film isolant est sélectivement enlevé dans une étape suivante à l'étape finale dans un processus de formation de cellules. De cette façon, les effets nuisibles des procédés de traitement thermique tels que le recuit dans le processus de formation de rangée et l'orientation filment l'agglomération du processus de formation de cellules et de l'oxydation de la surface se reliante d'électrode dans le lavage.