A method and apparatus for maintaining the state of a MEMS device in the event of a power failure are disclosed. The apparatus and method may be used with a MEMS device generally having one or more MEMS elements moveably coupled to a substrate that uses electrostatic clamping force to sustain the state of the MEMS element. According to the method, a capacitive or other charge-storing circuit is coupled between a clamping surface and an electrical ground. During normal operation, a clamping voltage is applied between the clamping surface and at least one MEMS element to retain the at least one MEMS element against the clamping surface. In the event of a power failure, the source of the clamping voltage and other circuit paths to ground are isolated from the clamping surface. The charge-storing circuit maintains an electric charge on the clamping surface. Leaky circuit paths to ground may be isolated from the clamping surface by an isolator element configured to electrically isolate the clamping surface in the event of a power failure. The isolator element may include an opto-isolator or a low leakage diode.

Un metodo e un apparecchio per effettuare il dichiarare di un dispositivo di MEMS in caso di un guasto di alimentazione sono rilevati. Il materiale ed il metodo possono essere usati con un dispositivo di MEMS generalmente che ha uno o più elementi di MEMS moveably accoppiati ad un substrato che usa la forza di pressione elettrostatica per sostenere il dichiarare dell'elemento di MEMS. Secondo il metodo, un circuito capacitivo o altro caric-immagazzinante è accoppiato fra una superficie di pressione e una terra elettrica. Durante il funzionamento normale, una tensione di pressione è applicata fra la superficie di pressione ed almeno un elemento di MEMS per mantenere il almeno un elemento di MEMS contro la superficie di pressione. In caso di un'omissione di alimentazione, la fonte della tensione di pressione ed altri percorsi del circuito di macinare sono isolati dalla superficie di pressione. Il circuito caric-immagazzinante effettua una carica elettrica sulla superficie di pressione. I percorsi incapaci di ritenere del circuito da macinare possono essere isolati dalla superficie di pressione da un elemento dell'isolante configurato per isolare elettricamente la superficie di pressione in caso di un guasto di alimentazione. L'elemento dell'isolante può includere un opto-isolator o un diodo basso di perdita.