A MEM s scanning device has a variable resonant frequency. In one embodiment, the MEMs device includes a torsion arm that supports an oscillatory body. In one embodiment, an array of removable masses are placed on an exposed portion of the oscillatory body and selectively removed to establish the resonant frequency. The material can be removed by laser ablation, etching, or other processing approaches. In another approach, a migratory material is placed on the torsion arm and selectively stimulated to migrate into the torsion arm, thereby changing the mechanical properties of the torsion arm. The changed mechanical properties in turn changes the resonant frequency of the torsion arm. In another approach, symmetrically distributed masses are removed or added in response to a measured resonant frequency to tune the resonant frequency to a desired resonant frequency. A display apparatus includes the scanning device and the scanning device scans about two or more axes, typically in a raster pattern. Various approaches to controlling the frequency responses of the scanning device are described, including active control of MEMs scanners and passive frequency tuning.

Un dispositivo de exploración de MEM s tiene una frecuencia resonante variable. En una encarnación, el dispositivo de MEMs incluye un brazo de la torsión que apoye un cuerpo oscilatorio. En una encarnación, un arsenal de masas desprendibles se pone en una porción expuesta del cuerpo oscilatorio y se quita selectivamente para establecer la frecuencia resonante. El material se puede quitar por la ablación del laser, la aguafuerte, u otros acercamientos de proceso. En otro acercamiento, un material migratorio se pone en el brazo de la torsión y se estimula selectivamente emigrar en el brazo de la torsión, de tal modo cambiando las características mecánicas del brazo de la torsión. Las características mecánicas cambiantes alternadamente cambian la frecuencia resonante del brazo de la torsión. En otro acercamiento, las masas simétricamente distribuidas se quitan o se agregan en respuesta a una frecuencia resonante medida para templar la frecuencia resonante a una frecuencia resonante deseada. Un aparato de la exhibición incluye el dispositivo de exploración y el dispositivo de exploración explora cerca de dos o más hachas, típicamente en un patrón de la trama. Los varios acercamientos a controlar las respuestas de frecuencia del dispositivo de exploración se describen, incluyendo el control activo de los exploradores de MEMs y de templar pasivo de la frecuencia.