The invention relates to fluorine-doped coatings which include a diamond-like composition containing carbon, silicon, oxygen, hydrogen, and fluorine on various substrates. Preferred substrates include flexible substrates, precision-edged substrates, and electrosurgical instruments. The present invention also relates to a method of making a substrate coated with a fluorine-doped diamond-like coating which includes positioning the substrate in a vacuum coating chamber and depositing a diamond-like composition containing carbon, silicon, oxygen, hydrogen, and fluorine onto the substrate by co-deposition of clusterless particle beams comprised of ions, atoms, or radicals of the carbon, silicon, oxygen, hydrogen, and fluorine, the mean free path of each particle species being in excess of the distance between its source and the growing particle coating surface of the substrate.

Η εφεύρεση αφορά τα φθόριο-ναρκωμένα επιστρώματα που περιλαμβάνουν μια αδαμαντοειδή σύνθεση που περιέχει τον άνθρακα, το πυρίτιο, το οξυγόνο, το υδρογόνο, και το φθόριο στα διάφορα υποστρώματα. Τα προτιμημένα υποστρώματα περιλαμβάνουν τα εύκαμπτα υποστρώματα, τα ακρίβεια-ακονισμένα υποστρώματα, και τα electrosurgical όργανα. Η παρούσα εφεύρεση αφορά επίσης μια μέθοδο παραγωγής ένα υπόστρωμα που ντύνεται με ένα φθόριο-ναρκωμένο αδαμαντοειδές επίστρωμα που περιλαμβάνει τον προσδιορισμό θέσης του υποστρώματος σε μια αίθουσα κενού επιστρώματος και την κατάθεση μιας αδαμαντοειδούς σύνθεσης που περιέχει τον άνθρακα, το πυρίτιο, το οξυγόνο, το υδρογόνο, και το φθόριο επάνω στο υπόστρωμα από την ομο-απόθεση των clusterless ακτίνων μορίων που αποτελείται από τα ιόντα, τα άτομα, ή τους ριζοσπάστες του άνθρακα, του πυριτίου, του οξυγόνου, του υδρογόνου, και του φθορίου, της μέσης ελεύθερης πορείας κάθε είδους μορίων που είναι παραπάνω από την απόσταση μεταξύ της πηγής του και της αυξανόμενης επιφάνειας επιστρώματος μορίων του υποστρώματος.